애플리케이션 소개
반도체 생산에서의 자동화된 재료 보관 및 관리
적용 대상 :
1. 고밀도 수납, 높은 공간 활용, 높이 공간의 충분한 활용
2.빠른 비트
3. 작업장 자재 관리 시스템에 통합
4.빠른 구현, 자동 레벨 교육 테스트
5.ARV/OHT/OHS/수동 및 기타 자동 프로세스와 호환 가능
6. Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 표준 및 ESD 표준을 준수합니다.
기능 소개
*반도체 온라인 저장장치에 사용되며 FOUP, CASSETTE, Magazine, Tray 등을 지원합니다.
*ARV와 도킹 가능하며 수동 적재 및 하역 지원 가능
*Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 표준 및 ESD 표준을 준수합니다.
*표준 SEMI 소프트웨어 인터페이스
*모듈식 디자인
블록4. 중국 상하이 푸동구 진후로 358호