애플리케이션 소개
*반도체 와이어 가장자리에서의 자동화된 재료 처리
*생산 주기가 느슨한 프로세스에 적합
*개별 물질 흐름 상황에 적합
* 지상에서의 사람의 흐름과 제한 없는 자재 취급에 적합합니다.
* 고정되지 않은 작업장 장비에 적합하며 레이아웃 변경 지원
*웨이퍼 테스트 BG WS DB WB 최종 테스트에 적용
* Cleanroom ISO14644-14、SEMI S2 규격 및 ESD 규격 준수
충전 시스템
단일 배터리 스테이션
저장 수량 | 1/2bin + 1 변경 빈 |
클린 클래스 | 1K 클래스 |
제어 시스템 | PLC |
데이터 시스템 | BCMS(선택) |
배터리 교체 시간 | 3 분 |
배터리 스테이션
저장 수량 | ≥5개 빈 |
클린 클래스 | 1K 클래스 |
제어 시스템 | PLC |
데이터 시스템 | BCMS |
배터리 교체 시간 | 4 분 |
배터리 관리 시스템
애플리케이션 소개
*반도체 생산에서의 자동화된 자재 취급
* 짧은 사이클 타임과 다양한 결합 생산 상황에 적합합니다.
*대용량, 중량, 도킹 정확도가 낮은 지점간 핸들링에 적합합니다.
* 오븐, 번인, 랙 바스켓, 박스 캐리어에 적합
*Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 표준 및 ESD 표준을 준수합니다.
어플리케이션
웨이퍼 연마 및 운송
SMT MGZ 적재 및 하역
오븐 적재 및 하역
E-rack 환적
블록4. 중국 상하이 푸동구 진후로 358호