전 구역 안전 및 보안, 통합 데모, 충전 다용성
신체 치수
결합된 정확도
탐색 방법
플랫폼 하중
애플리케이션 소개
*반도체 와이어 가장자리에서의 자동화된 재료 처리
*생산 주기가 느슨한 프로세스에 적합
*개별적인 물질 흐름 상황에 적합
* 지상에서의 사람들의 흐름과 제한 없는 자재 취급에 적합합니다.
* 고정형이 아닌 작업장 장비에 적합하며 레이아웃 변경 지원
*웨이퍼 테스트 BG WS DB WB 최종 테스트에 적용됩니다.
*클린룸 ISO14644-14、SEMI S2 표준 및 ESD 표준 준수
충전 시스템
단일 배터리 스테이션
| 저장 수량 | 1/2bin+ 1 변경 빈 |
| 클린 클래스 | 1K 클래스 |
| 제어 시스템 | PLC |
| 데이터 시스템 | BCMS(선택 사항) |
| 배터리 교체 시간 | 3 분 |
배터리 스테이션
| 저장 수량 | ≥5개 빈 |
| 클린 클래스 | 1K 클래스 |
| 제어 시스템 | PLC |
| 데이터 시스템 | BCMS |
| 배터리 교체 시간 | 4 분 |
배터리 관리 시스템
애플리케이션 소개
*반도체 생산에서의 자동화된 자재 취급
*짧은 사이클 타임과 다양한 결합 생산 상황에 적합합니다.
*대용량, 중량, 도킹 정확도가 낮은 지점간 핸들링에 적합합니다.
* 오븐, 번인, 랙 바구니, 박스 캐리어에 적합
*Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 표준 및 ESD 표준을 준수합니다.
어플리케이션
웨이퍼 연마 및 운송
SMT MGZ 적재 및 하역
오븐 로딩 및 언로딩
E-rack 환적
블록4. 중국 상하이 푸동구 진후로 358호
EN 
CN
ES
RU
JA
KO
DE
FR
IT
AR
TL
CS
NL
FI
EL
HI
PL
PT
IW
ID
VI
HU
TH
TR
FA
MS
